重庆直供HUGLE藤宫全自动EUV POD清洁系统成都及西南区客户共享资源全自动EUV POD清洁系统REN 重庆内藤机械设备有限公司

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详情介绍：

它是用于EUV暴露的EUV POD的全自动清洁装置，这是新的曝光技术。除了拆卸/重新组装内部POD和外部POD之外，每个POD都使用单独的专用CH进行清洁/干燥。
完全无人值守的操作也是可能的。
采用独特的清洁/干燥技术实现纳米级颗粒去除30年，作为半导体设备容器清洁设备制造商。

-足迹设计
，专有清洗技术通过超精密清洗
和高效的干燥系统完全干燥实现通过
，全自动POD开放的交叉污染预防由
-RSP200兼容
机器人手自清洁系统内置
-独立专用室**

装置主体：1230（宽）×2900（深）×2300（高）毫米（不包括突起）

产品名称：重庆直供HUGLE藤宫全自动EUV POD清洁系统成都及西南区客户共享资源