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  • 产品名称：重庆直供HUGLE藤宫全自动FOUP清洁系统西南区客户共享资源

  • 产品型号：全自动FOUP清洁系统UPC-12500SORA
  • 产品厂商：HUGLE藤宫
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简单介绍：
重庆直供HUGLE藤宫全自动FOUP清洁系统西南区客户共享资源 重庆内藤机械设备有限公司 重庆直供HUGLE藤宫全自动FOUP清洁系统西南区客户共享资源
详情介绍：

全自动FOUP清洁系统UPC - 12500 SORA

 

300毫米作为晶圆的FOUP的自动清洗系统，模型改变UPC-12100，已经取得的经验和世界**的信心。现代半导体制造业已得到改进必不可少的高品质，高通量和节能概念。它符合UL和CE标准以及SEMI标准。自动传输系统（AMHS）兼容，与GEM 300兼容的通信协议，适用于在线管理。
请务必考虑世界上***别的FOUP清洁设备。

 
产品概述

●高通量
●足迹设计
●节能
●全自动FOUP开放的交叉污染预防由
超精密用●2流体喷射清洗系统清洗
●高效率的干燥系统
●SEMI通信标准GEM300对应
●高交付
●SEMI S2， S8，符合CE标准

规范
装置主体：2200（宽）×3250（深）×2500（高）毫米（不包括投影） 
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