重庆直供HUGLE藤宫FOUP/FOSB清洁系统西南区客户共享资源 FOUP/FOSB清洁系统HNM-300 重庆内藤机械设备有限公司

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重庆直供HUGLE藤宫FOUP/FOSB清洁系统西南区客户共享资源重庆内藤机械设备有限公司重庆直供HUGLE藤宫FOUP/FOSB清洁系统西南区客户共享资源

详情介绍：

通过对FOUP和FOSB进行必要的清洁来维持和提高半导体制造的高生产率这一概念至关重要。HNM-300可用各种FOUP / FOSB一个洗涤/干燥。
没有必要更改任何工艺套件或通过Huggle的原始腔室结构更改设置。

和高吞吐量（我们之前的模型）
，教育部足迹
-neutralization /除尘措施
喷嘴喷射**清洗保洁
在短时间内通过热风刀干燥完全干燥
，喝水死的预防功能
，可以添加自动FOUP Opner机制（选项）

装置主体：2300（W）×1400（D）×2200（H）mm（不包括投影）

产品名称：重庆直供HUGLE藤宫FOUP/FOSB清洁系统西南区客户共享资源