产品详情
  • 产品名称:重庆直供HUGLE藤宫晶圆转移机成都及西南区客户共享资源

  • 产品型号:晶圆转移机AWT 200 / AWT 150 / MWT 200 / MWT 150
  • 产品厂商:HUGLE藤宫
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简单介绍:
重庆直供HUGLE藤宫晶圆转移机成都及西南区客户共享资源 重庆内藤机械设备有限公司 重庆直供HUGLE藤宫晶圆转移机成都及西南区客户共享资源
详情介绍:

晶圆转移机AWT 200 / AWT 150 / MWT 200 / MWT 150

 
AWT 200
MWT 150

自动滑动晶圆(也可以手动输入)。SEMI标准载体之间的水平批量转移。节省空间的桌面类型。

产品概述

●SEMI标准载体间的水平批量转移。
●节省空间的桌面型
●当载体设置不正确时,传感器会停止传输。(AWT)
●转移臂,以避免损坏晶圆当它检测到在转印时将停止的过电流。(AWT)
●200MM(AWT200,MWT200)或150毫米对应于(AWT150,MWT150)
对应于●自动(AWT200,AWT150)或手动(MWT200,MWT150)。

规范
电源 AC 100/240 V,50/60 Hz
目前的能力 1.2 A.
外部尺寸
AWT 200:642(长)×230(宽)×290(高)mm 
(自动型,200 mm)
MWT200:642(L)×230(宽)×290(高)mm 
(手动型,200 mm)的
AWT150:545(L)×172(宽)×248(高)mm 
(自动型,150mm)上
MWT150:534( L)x 212(宽)x 248(高)mm 
(手动型,150 mm)
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