产品详情
  • 产品名称:重庆直供HUGLE藤宫晶圆转移机成都及西南区客户共享资源

  • 产品型号:晶圆转移机SPP 200 / SPP 150
  • 产品厂商:HUGLE藤宫
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简单介绍:
重庆直供HUGLE藤宫晶圆转移机成都及西南区客户共享资源 重庆内藤机械设备有限公司 重庆直供HUGLE藤宫晶圆转移机成都及西南区客户共享资源
详情介绍:

晶圆转移机SPP 200 / SPP 150

 

支持薄晶圆(TAIKO工艺)单晶圆传输机。我们从承运人那里逐一拿起晶圆并随身携带。它还支持从载体到载体和载体内的移动。节省空间的桌面类型。

产品概述

●从承运人一个接一个地拾取和转移晶圆。
●它还支持从载体到载体以及载体内的移动。
●节省空间的桌面型
●非真空系统
●支持TAIKO工艺的晶圆传输。
●在传输之前执行映射,并读取正确的晶圆位置。
(或者,晶片被设定为正确的职业,或不移位的检查。)
●将替换检查是否存在剩余晶片也可用于载流子
对应于●200毫米(SPP200)或150毫米(SPP150)
●PWP(晶片搬送尘埃)<10@0.2 um 
●载体和晶圆的ESD保护
●选项(MEMS晶圆的长边接触指)

规范
电源 AC 100/240 V,50/60 Hz
目前的能力 2 A.
外部尺寸
SPP 150:856(长)x 677(宽)×645(高)mm
SPP 200:856(长)×677(宽)×645(高)mm
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