-
日本KANOMAX加野
-
日本HONDA本多
-
YUMEX优美科思
-
ATTEN安泰信
-
YIZIMO一子沫株式会社
-
TECHNO 特古罗
-
福乐 FLUORO
-
日本FURUPLA
-
韩国HANIL搅拌机
-
日本SUGIYAMA杉山电机
-
一恒
-
being贝茵
-
日本Nidec尼得科
-
德国FELO(菲龙/飞龙)
-
北泽KITZ
-
日本TAISEI大生工业
-
兵神HEISHIN
-
HEXAGON海克斯康
-
cosmos新宇宙
-
SUPER塑宝
-
日本MCRL村上色彩
-
NITTO KOHKI日...
-
MUSASHI武藏
- JBC
-
kobelco神钢
- HYPOWER航裕电源
- SINDIN晟鼎精密
-
台湾ASA好帮手
- 3nh三恩时
- 新品动态
- 推荐产品
- 热销产品
-
特价产品
- chuhatsu中央发明研究...
- SUGITOH杉藤
- sugawara菅原
- kotohira琴平工業
- SANKO山高
- USHIO牛尾
- SEN日森
- EYE岩崎
- SONIC索尼克
- 柯尼卡美能达
- TOPCON拓普康
-
HIKARIYA光屋
- NIPPONMUKI无机
- AIKOH日本爱光
- HEIDON新东
- SAKAGUCHI 坂口电热
- tomasu托马斯
- SAKAGUCHI热熔胶...
- HIKARIYA光屋\L...
- 中国区总代 OSI王子计...
- NDK电色 ヘーズメータ...
- 日本SANKO三高,两用...
- UV光清洗机PL21-2...
- **代理 UV光强计 U...
- 重庆代理 高亮度光源控制...
- 重庆内藤供应日本toma...
- AIKOH日本爱光 R...
- 国内代理总店热销日本原装...
- 重庆 FUNATECH船...
- 日本原装进口厂家直销TO...
- 代理原装进口优等产品 M...
- 国内优等产品销售店日本进...
- 国内优等品代理店上乘日本...
- 质量可靠的进口膜厚計日本...
- 国内总代理店推出优等新品...
- 国内总代理店优等品牌日本...
- 液晶面板厂指定用聚光检查...
- 重庆直供日本进HUGLE...
- 重庆内藤代理直销日FUN...
- 国内授权代理厂家直销液晶...
- 重庆内藤国内授权代理店卓...
- 重庆内藤国内厂家直销日本...
- 国内授权店原装进口日本R...
- 国内代理店原装进口日本N...
- 精密声级计RION理音
- 日本AITEC艾泰克LE...
- 日本FLUORO福乐FV...
- 日本SIMCO思美高Ae...
- 日本MUSASHI武藏 ...
- 日本TECHNO特古罗 ...
- 中国总代理YIZIMO一...
- 日本AITEC艾泰克LE...
- 日本FLUORO福乐 ...
- 日本SIMCO思美高除静...
- 日本MUSASHI武藏 ...
- 日本MUSASHI武藏超...
- 日本FLUORO福乐尼龙...
- 中国总代理YIZIMO一...
- 日本CCS希希爱视图像处...
- 日本AITEC艾泰克重庆...
- 日本MUSASHI武藏超...
- 日本cosmos新宇宙复...
- 日本TECHNO特古罗 ...
- 日本MUSASHI武藏点...
- (新品)总代理 日本MU...
产品详情
简单介绍:
厂家直销 SIMCO思美高 内联N 2离子发生器模型 思美高内联电离器
即使在高纯度N 2环境中,4214型离子发生器也支持“扩展ISO 1级,10 nm”的高洁净度,并实现出色的离子平衡。
厂家直销 SIMCO思美高 内联N 2离子发生器模型 思美高内联电离器
详情介绍:
特点
- 采用超低粒子单晶硅电极。
- 通过独特的清洁机制确保稳定的长期清洁,不会将颗粒释放到外面
- 采用不需要任何调整的智能控制电路
- 通过内置传感器持续监控离子发生,实现可靠的静电消除
- 集成的紧凑型设计,内置控制器和电源
- 自动高压切断功能可在低流速下保护产品
- 适用于超低粒子应用,如先进的半导体制造工艺
- 24 V DC驱动器
规范
输入电压 | 24 V DC +/- 5%6 W Typ。 |
---|---|
离子平衡 | <+/- 25 V 150 mm距离40 LPM无管道连接 |
静电消除时间 |
<10秒150 mm距离40 LPM无管道连接 +/- 1 kv→+/- 100 v取决于带电的印版监视器 |
离子发生方法 | 电晕放电型高频交流系统 |
清洁度 | ISO Class 1,0.1微米“扩展ISO Class 1,10 nm”* |
电极 | 单晶硅可交换 |
相应的吹扫气体 | N 2> 99.998% |
流量 | 40 LPM(36.5 Kpa)至90 LPM(171 kPa) |
*大吹扫压力 | 207 Kpa(= 100 LPM流量) |
*高气体温度 | 60摄氏度 |
N 2吹扫连接 | 世伟洛克3/8“外径管道 |
电离N 2连接 |
世伟洛克1/2“外径管道连接,带1 / 4NPT内螺纹连接器或可选接头28-25710-SC |
工作温度范围 | 15至60摄氏度 |
信号输出 | 打开/关闭触点时的报警和离子减少输出 |
维 |
长度152.4 mm x宽度72.4 mm x深度32 mm 不包括管道部分 |
重量 | 640克 |
外观 | 不锈钢 |
安装方法 | 背面M5螺钉螺钉长度小于10 mm |
关于扩展的ISO Class 1,10 nm
?ION Systems为了应对细颗粒管理而独特定义的清洁度定义。ISO 14644-1定义为*小粒径为100nm。扩展ISO Class1,10nm并且使用颗粒的计算公式和ISO14644-1及其允许颗粒的数目的同一允许数将是1200pc /立方米(34 PC /立方英尺 ) 至少一个粒径10nm的