产品详情
  • 产品名称:授权厂家直销 SIMCO思美高静电消除器

  • 产品型号:AeroBarMP Model 5635
  • 产品厂商:SIMCO思美高
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简单介绍:
授权厂家直销 SIMCO思美高静电消除器 5635型Aerobar MP离子发生器是一种超低颗粒兼容产品,适用于需要100 nm或更低微粒度管理的场所的静电消除,包括先进的半导体制造工艺 授权厂家直销 SIMCO思美高静电消除器
详情介绍:
特点
  • 在全球范围内具有无与伦比的采用记录的单晶硅电极避免了由于超低颗粒特性和电极材料而导致金属污染的风险
  • 通过原始MP(脉冲调制)方法将离子有效地带到目标的高效静电消除
  • 即使在100 mm距离和离子平衡下也可以使用的小电位摆动特性,在棒长度上几乎没有偏差
  • 离子发生状态和离子平衡由智能控制电路自动管理
  • 可旋转1/4旋转的可更换电极有助于减少维护工时
  • 由于MP系统的特性,潜在的摆动非常小,因此设置简单。此外,小电位摆动有效地保持了管理标准内的长期离子平衡
  • 设置与半导体前端EFEM对应的长度条
  • 紧凑的24 V DC驱动控制器设计
  • 全球范围内提供上等支持网络
 
规范
型号5635 AeroBar MP
输入电压 24 V DC +/- 10%
输出电压 高达约13.5kv pp可调
安装距离 100毫米至1000毫米(无空气吹扫)
离子发生方法 电晕放电方法
MP(脉冲调制)方法调制频率1至33 Hz
离子平衡 自动平衡调整方法
<+/- 10 V由于直接位于条形下方的位置<+/- 10 V 
(600 mm距离)
电极 单晶硅电极可更换
吹扫气体 清洁干燥空气或N 2
*大吹扫压力 310 Kpa
臭氧量 <0.05 ppm(24小时积分值)
信号输出 报警IO开路集电极输出
高度78 mm x深度34 mm x长度如下
450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350
mm
外观 ABS树脂

扩展的ISO Class 1,10 nm?
对于扩展ISO Class1,10nm?这是为了自己的确定级别的ION系统的清洁度,以应对微小粒子管理的定义。ISO 14644-1定义为*小粒径为100nm。扩展ISO Class1,10nm并且使用颗粒的计算公式和ISO14644-1及其允许颗粒的数目的同一允许数将是1200pc /立方米(34 PC /立方英尺 ) 至少一个粒径10nm的

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