产品详情
  • 产品名称:各種保管庫製造・販売 株式会社ダン・タクマ FOUP N2清理系统 重庆

  • 产品型号:FOUP N2清理系统
  • 产品厂商:株式会社ダン・タクマ
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简单介绍:
各種保管庫製造・販売 株式会社ダン・タクマ FOUP N2清理系统 重庆 各種保管庫製造・販売 株式会社ダン・タクマ FOUP N2清理系统 重庆 TEL:18375760285 QQ:2853007784 白先生
详情介绍:


细微化的先进φ300mm晶圆过程中,FOUP内的分子污染导致产品Difect(缺陷)被放大。
那个对策和存货中的FOUP内的氮气置换举行。
本系统,FOUP的N 2供给端口部机械排气阀,排气部FOUP内N2流量和湿度确认センサー内置的排气埠,而且监视的I / O单元及I / F单元构成。
与以前的清洗系统相比,简单,确实是进行清洗的省成本·节能的清洗系统。
监视系统施特克尔内各FOUP的清洗状况进行监视。
I / F画面上,清洗状况(在荷状况,清洗时间,清洗流量,FOUP内湿度)时期监测。另外,上位(MES)通信功能等也选择对应。




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