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节能对应
保管库保管库,局部清洁,洁净室,洁净室,清洁室,提供适合于用途的空调系统。
空气循环式空气ワンパス式、节能式等用途合设计。同时,化学过滤器的搭载也可能。
使用例
1(1)半导体n(纳米)单位的测量仪环境
(2)清洁室室内环境温度改善
3)食品生产的冷却过程
4)特殊涂装干燥工序的高湿度空气供给系统
式样
清洁度类10(10μm)
风量35米3 / min
设置场所环境DB 23℃±1℃RH 45 %±5%
控制条件DB 23℃±0.05℃(设置场所环境的急剧变化时除外)
温度分布DB 23℃±0.1℃(设置场所环境的急剧变化时除外)
一KW内部发热
排气量为5米3 / min以下都容许
温度控制热气体再热系统
制冷水冷式
304不锈钢外壳#400研磨
过滤器ULPA过滤器(化学过滤器可安装)
**紧急停止,制冷机异常,漏电遮断,漏水异常,过热异常,过
电源AC 200 Vφ50 / 60 10 / 60以下
冷却水25℃19 L / min 34℃42 L / min
产品例
热清洁展位低湿度热室
调整清洁布思工作人员舒适的环境。
用循环方式可以采用清洁布思内的湿度的方式。
控制范围・・・24℃±1℃
设置场所环境···20℃~30℃湿气所影响产品的保管,低湿度下的工作要求设备低湿次空气供应。
控制范围・・・25℃以下的
控制
**湿度、5 g / m
设置场所环境・・・24℃±2℃
黑斑热室热
在要求装置内的控制精度的部位,供给湿度控制的清洁空气。
控制范围・・・23℃±0.05℃
45 %±5%
设置环境的
急剧变化的时候
除外,除外
设置场所环境···20℃~25℃
45 %±10%的温度变化导致的伸缩的影响nμ定位精度必要的设备、激光使用微细测量设备等设备收纳,设置场所的环境变动影响空气循环不要让温度控制。
控制范围···22℃±0.05℃
设置环境的
急剧变化的时候
除外,除外
设置场所环境・・・24℃±1.5℃
概略图
外形尺寸2600×1800×2100 H
在室内尺寸2000×1700×1700×1700×1800
质量700公斤