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产品详情
简单介绍:
USHIO牛尾 布丁タブル图案化用光源组合“VUV班机”
USHIO牛尾 布丁タブル图案化用光源组合“VUV班机”
详情介绍:
****次用灯方式的真空紫外平行光。
真空紫外光的亲水化图案化方式比以前的リソグラフィープロセス相比大幅缩短工序,实现共同印刷方式不能得到的微细图案形成实现了。有机晶体管,ウェアラブルセンサー,生物设备等新领域的实现道路就会打开。此外,新开发的高亮度脉冲光源(PAT申请中)的平行光化,L / S = 5 / 5μm以下※的解像性能,实现。大面积化的咨询也请咨询
※使用抗蚀剂:东京応化工业株式会社制:TArF - P 6111(膜厚260纳米)
固化、粘接
リソ・パターニング
改性分解
清洗
**、除臭
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