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产品详情
简单介绍:
NOVX型号3350/3360系列可以根据传感器处电势的测量结果对离子发生器进行离子平衡控制,还可以记录和报告实时电势变化,因此可以准确地控制电势。非常适合需要严格静电管理的硬盘制造工艺和半导体制造工艺。
详情介绍:
特征
■与 ION Systems 型号 5802/5810/5822 结合使用时,可实现多个(*多 3 个通道)离子发生器的离子平衡控制 +/-1v 控制
■型号 3360 可测量衰减(静电消除时间)
■报警阈值 可任意设定
■兼容RS-485或以太网通讯
■采用数字处理电路,可任意设定,避免尖峰噪声信号检测到报警。
规格
Model3350/3360控制器
输入电压 |
+/-12V、+5V DC 由附带的电源提供。 电源输入电压 AC100-240V, 50/60Hz |
---|---|
*大连接传感器数量 | 3 |
离子发生器离子平衡输出 | 3个频道 |
电位检测范围 | +/-100v |
准确性 | +/-0.1v |
报警设定点 | 任何 |
零电压调整 | 任何 |
衰减测量功能 | ** 3360。3个频道 |
沟通 | RS-485 或EthernetIO(集电极开路) |
尺寸 | 宽44毫米×高152毫米×深154毫米 |
重量 | 0.82公斤 |
外部的 | 不锈钢 |