产品详情
  • 产品名称:SIMCO思美高 超洁净工艺设备型静态栏

  • 产品型号:超洁净工艺设备型号5225 AeroBar
  • 产品厂商:SIMCO思美高
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简单介绍:
厂家直销 SIMCO思美高 超洁净工艺设备型号5225 AeroBar 思美高静态栏 5225型Aerober离子发生器是一种棒式离子发生器,专门设计用于半导体等超洁净工艺设备。 厂家直销 SIMCO思美高 超洁净工艺设备型号5225 AeroBar 思美高静态栏 SIMCO思美高 超洁净工艺设备型静态栏 SIMCO思美高 超洁净工艺设备型静态栏
详情介绍:
特点
  • 在全球范围内具有无与伦比的采用记录的单晶硅电极避免了由于超低颗粒特性和电极材料而导致金属污染的风险
  • 通过脉冲DC方法实现广泛的静电消除能力
  • 由全数字电路控制,更稳定的离子产生和长离子平衡
  • 通过安装5200-SR外部传感器附近的中和目标(可选),而不是离子发生器条体,当在中和目标的反馈控制可能的附近的离子平衡(5200-SR未连接,电离器棒体内置传感器是离子平衡自动调整)
  • 设置与半导体前端EFEM对应的长度条
  • 可以在很宽的范围内设置离子发生输出,离子发生时间,报警阈值等各种参数,实现灵活的通信,如长距离应用和弱气流环境
  • 仅通过输入参数的数值就可以获得高重复性,并且可以在短时间内设置
  • 除了简单的报警IO之外,还可以通过免费DLL使用进行实时监控,有助于掌握过程设备中的状态
 
规范
5225型AeroBar
输入电压 24 V AC,50/60 Hz,1 W Typ。由IM6T提供。
沟通形式 RS485(IM6T和5225之间)
输出电压 0 kv至约+/- 20 kv
输出表格 脉冲直流模式,稳态直流模式(可选)
输出电流 <15 micro A内置电流和电压限制电路
接头连接器 RJ 11,4极4芯
离子发生时间 *小0.1秒,*长10秒可单独设置正负
电极 单晶硅电极可更换
臭氧产生量 <0.005 ppm(24小时综合测量)
清洁度相应 ISO Class 1,0.1微米
高53 mm x深31 mm x长569 mm(-22),721 mm(-28), 
907毫米(-36),1128毫米(-44),1412毫米(-56),1636毫米(-64),
1918毫米(-76)和2144毫米(-84)
重量 -22:每增加一个长度1.02千克/0.17千克/ 30厘米
外观 ABS树脂

接口模块型号5200-IM6T
输入电压 24 V DC +/- 5%,1.5 A.
沟通形式 以太网,RS232C
报警输出 中继联系(仅适用于4.0或更高版本)
高74毫米x深71毫米x长315毫米
重量 2公斤
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