福乐 fluoro 非接触式晶圆传输伯努利卡盘 BC 系列（导电）

日期：2024-05-01 16:49

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摘要：非接触式晶圆传输伯努利卡盘 BC 系列（导电）主体可选择20度、45度、90度，水平放置的BC-K系列支持2英寸至12英寸。（使用角度是固定的，不改变主体就无法改变使用角度。）由于导向挡块具有平缓的锥度，因此晶片的边缘会在一点处接触。由抗静电聚碳酸酯制成的导向环可以目视确认定位和吸附状态。主体采用导电尼龙树脂，实现了轻量化。它可以处理双面印刷有图案的晶圆，以及难以处理的薄至 50μm 的晶圆。我们还支持与目标对象相匹配的定制设计产品，例如方形。